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產品簡介
無氧烤箱 晶圓封裝充氮潔凈烘箱產品用途范圍：用于FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料，無塵烘干BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、，電工產品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗等應用。
無氧烤箱 晶圓封裝充氮潔凈烘箱產品特點：
整體結構采用單門多倉結構，控制柜位于箱體上方，外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內部光亮整潔，自身潔凈不產塵。
產品主要技術參數：
品 名 | 千級潔凈烘箱 |
型 號 | SKCOL-9070A*4 |
工作室尺寸 | W400 * D350 * H500 MM |
總消耗功率 | 2.0 KW |
潔 凈 度 | Class 100 （立方英尺0.5UM顆粒數小于100，立方米0.5UM顆粒數小于3520） |
容 積（L） | 70 L |
溫 度 | RT+20 ～ +250℃ |
配 置 | P.I.D控溫 三色燈，急停按鈕 |
設備技術指標
項目 | 內容 |
工作室容積 | （400mm×350mm×500mm ）(W寬×D深×H高） |
工作溫度范圍 | RT+20 ～ +250℃ |
升溫速率 | 5℃/min （空載，非線性） |
溫度偏差 | ≤±1℃(空載，恒定狀態時) |
溫度精度/分辨率 | ±0.1℃ |
溫度波動度 | ±1℃(空載，恒定狀態時) |
溫度均勻性 | ±1.5%(空載，恒定狀態時) 200℃時誤差為±3℃ |
時間定時范圍 | 0 – 9999 小時，分鐘，秒 |
潔凈等級 | Class100 立方米≥0.5UM塵粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM塵粒≤1000 |
總功率 | 2.5 KW |
電源 | 220V 50Hz （三相五線） |
電源線 | 2.5米 |
箱體結構系統
項目 | 內容 |
結構方式 | 整體結構采用單門立式結構，控制柜位于箱體上方，外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后噴塑，工作室采用SUS304潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理，內部光亮整潔，自身潔凈不產塵。 |
材料構成 | 1.外壁材料：1.5mm厚度3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑，顏色為工業白。 2.內壁材料：2.0mm厚SUS304鏡面潔凈不銹鋼板。 3.絕熱材料：100mm厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。 |
結構強度 | 箱底板承重能力：≤130Kg（均勻負載） |
柜門 | 1．單開門結構，門框鑲嵌耐高溫硅橡膠密封條。 2．拉手采用拉桿式安全防爆拉手。 |
備注：干燥箱工作室內部經過堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。用戶在使用潔凈烘箱之前應使用無紡無塵布擦拭工作室內部及隔板。
項目 | 內容 |
配置 | 1．風道位于箱體頂部與背部，高效過濾器H.E.P.A位于箱體風道內部。 2．熱風經過H.E.P.A進入干燥箱內部，再循環至頂部進入風道，往復循環。 3．三相異步長軸耐高溫長軸馬達，帶相序保護，超溫過流保護。 4．不銹鋼渦輪扇葉，出廠經動平衡調校，確保送風平穩。 5．排風口：不銹鋼排風管，帶自動風閥，排風管位于箱體背部。 |
工作方式 | 設備啟動，鼓風裝置持續運行，箱內熱風循環。 |
過濾系統
項目 | 內容 |
配置 | 1．耐高溫高效過濾器，過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um） 2．采用進口耐高溫超細纖維芯材，連續耐溫350℃，鋁箔隔層，陶瓷膠密封 3．邊框配置玻璃纖維耐高溫密封條 |
工作方式 | 設備啟動，熱風循環啟動，熱風通過高效過濾器H.E.P.A實現箱內自凈化。 |
安全保護系統
項目 | 內容 |
工作室 | 獨立式工作室超溫保護器 |
加熱系統 | 欠壓、超壓保護.過流保護.加熱器斷線保護.超溫保護 |
熱風循環系統 | 相序保護.缺相，欠壓保護.過熱，過載，過流保護 |
電源系統 | 電源缺相及相序錯誤保護.漏電保護.加熱器超溫保護.加熱器短路過流保護 |
其他 | 設備外殼接地保護，電磁門禁系統 |
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